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产品概要

    半导体制造业中设备集成的理想之选！
    低硅测力传感器

    在半导体的生产过程中，使用不易释放硅氧烷（由硅树脂所释放的气体）的设备至关重要。
    UWR是一种梁式测力传感器。
    考虑到该传感器将被应用在硅晶片附近，生产时使用了不易产生氯气的聚四氟乙烯护套电缆。

技术参数

型号 UWR-10N
额定容量 10 N
额定输出 約 0.5 mV/V
允许负载 300% R.C.
零点平衡 ±20% R.O.
非线性 0.03% R.O.
滞后性 0.03% R.O.
重复性 0.02% R.O.
补偿温度范围 0 〜 ＋50℃
允许温度范围 −10 〜 ＋70℃
零点的温度影响 0.5% R.O./10℃
输出的温度影响 0.2% R.O./10℃
输入端子间阻抗 约 1000 Ω
输出端子间阻抗 约 1000 Ω
推荐激励电压 5 V
绝缘阻抗（DC 50 V） 1000 MΩ 以上
电缆线 φ2 4芯屏蔽聚四氟乙烯护套电缆 3 m 头部散状
负载的弯度 0.04 mm
固有频率 2.5 kHz
重量 约 40 g （不含电缆）
传感器材质 铝合金
使用案例・配线图

使用案例
配线图


外形尺寸


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产品单页介绍（PDF）
 UWR产品单页介绍
使用说明书（PDF）
 UWR使用说明书
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