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产品概要

采用静电容方式技术测量，实现非接触精密变位测量。可应用变位、振动、形状、位置检出等广泛领域测量。本产品追求精度和成本效果开发，是泛用性变位计。还有，考虑地球环境的影响，任何产品都采用无铅·RoHS2指令。PS-IA采用案例广泛，相关大学研设备、电子仪器、半导体组装设备。对精密测试有长期经验。

本产品由于输出贸易管理规定有可能不能销售，请事先谅解。

应用案例

特点

在DC 24 V或AC 100 V下工作，附有输出零复位功能，NEAR/FAR LED显示器，BNC模拟输出的单通道放大器。结构小型且具有全功能，可以使用在从研究开发到各种内置设备等各方面的应用。

  • 阵容广泛的标准测量量程30 ～ 10000 μm
  • 如果是导体,材质不影响灵敏度的变化
  • 不受表面粗糙度的影响
  • 直线性精度很：±0.05％ 以下
  • 低干扰：0.002％/FS（rms） 以下
特注探针对应例

可做其他非标传感探头。请联系给现地相关负责部门。
测量原理

如右图所示，PS传感器，利用平板电容器的原理。
C为极板之间的电容、ε为探针与对电极之间的诱导率、g为距离、A为中心电极板的面积。这些关系可表达如下计算式。

如下图所示，通过交流恒流源驱动时，输出电压为：

输出和测定空隙有比例关系。

PS传感器，在防护电极与中心电极具有相同电位下进行驱动时，通过中心电极部分建立并行电场，获得高的直线性。

技术参数

■ 标准圆筒型探针规格

因探头内部不含电子电路，可使探头结构紧凑。真空对应等，也可对应特别订货。

型号 外径
(mm)		 目标最小
直径(mm)		 支距
(μm)		 量程
(μm)		 分辨率
(nmrms)		 直线性
(%)		 探头长度
(mm)		 电缆长度
(m)
△X□□-30 4 4 10 30 0.6 ±0.05 5(订货生产品)
10
30 		2（标准）
△X□□-50 10 50 1
△X□□-100 10 100 2
△Y□□-50 6 6 10 50 1
△Y□□-100 10 100 2
△Y□□-250 25 250 5
△Y□□-500 50 500 10 ±0.1
△Z□□-500 12 11 50 500 10 ±0.05 10
30
△Z□□-1000 100 1000 20 ±0.1
△T□□-3000 30 28 300 3000 60 ±0.05 15
30
△T□□-5000 500 5000 100 ±0.2

型号的△符号为传感器输出线位置选型，□□符号为探头长度（mm）选型




■ 标准角法兰式探针规格

型号 外径
(mm)		 目标最小
直径(mm)		 支距
(μm)		 量程
(μm)		 分辨率
(nmrms)		 直线性
(%)		 电缆长度
(m)
FK4006-500 15 15 50 500 10 ±0.1 2（标准）
FK4006-1000 100 1000 20
FN4006-1000 19 18 100 1000 20
FN4006-2000 200 2000 40
FT4006-3000 29 28 300 3000 60
FT4006-5000 500 5000 100 ±0.2
FU5006-5000 39 38 500 5000 100 ±0.1
FU5006-10000 1000 10000 200 ±0.2


■ 放大器技术参数

具有用单键的操作使输出为零的复位功能，NEAR/FAR LED显示器，多通道动作功能等，通过一台可以应用于各种各样的用途。

型式 PS-IA PS-IA(B)(选件)
标准输出电压范围 0 ～ 10 V -5 ～ ±10 V
输出终端 BNC连接器
频率特性
（≧-3 dB）		 DC ～ 1 kHz
使用温度范围 +10 ～ +40℃
电源 AC 100 ~ 240 V(±10%)(自由电源 50/60 Hz)（使用附属的AC适配器）
DC 24 V, 0.5 A (订购时指定DC电源)
外形尺寸 110W×30H×162D mm
重量 360 g（仅本机）
 


关于LED、荧光、液晶等相关显示部分，因制造工程以及材质等原因，也许会发生微妙差别。请了解，谢谢。