近年の半導体業界の活性化に伴い多くのセンサの需要が高まっています。
力や重さを測るセンサ、ロードセルもその１つです。
ロードセルの製造に欠かせない材料にシリコーン樹脂があります。シリコーン樹脂は、耐熱性や絶縁性、耐候性が良好なため、様々な用途で使用されています。ロードセルではケーブルや防湿コーティング、線材の固定、防振などの目的でシリコーン樹脂を使用しています。
ところが、最近活況を呈している半導体製造分野において、これらシリコーン樹脂から発生するシロキサンというガスが様々な障害を引き起こします。シロキサンは平たく言えばシリコーン原子と酸素が結合したポリマーで、非常に安定した物質です。
これが電気接点に吸着して固着すると接点不良を引き起こします。また、半導体露光装置のレンズやシリコンウェハの表面に吸着すると、歩留まりを大きく低下させます。
このような理由により、半導体製造現場ではシロキサンを発生しない機器が必須となっています。
シリコーンフリーロードセル「UWR」で解決！
UWRはビーム型のロードセルです。分析でシロキサンガスが検出されないことを確認しており、安心してご利用いただけます。容量は10 N、精度は0.03％、固有振動数が2.5 kHzと、小さい容量を高精度かつ高速で見ることができます。
- ウェハ搬送ロボットの把持力管理
- ウェハの研磨時の押し圧管理
- チップマウンタの荷重制御
- ワイヤーボンディング時の押し圧管理
など様々な用途でご利用いただけます。
ユニパルスのロードセルは起歪体とひずみゲージを内製しているため、小ロットから特注を承れます！
容量の変更・特殊形状・サイズ変更・動作温度範囲の拡張・シリコーンフリー化等が可能です。是非ご相談ください。