静電容量方式非接触変位計 PS-ⅠA

製品概要

PS-IAは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用性変位計として高い評価を得ております。
また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS2指令に対応しております。
研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。

静電容量型非接触変位計　PS-IA　製品紹介動画

アプリケーション例

特長

DC 24 VまたはAC 100 Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。

標準測定レンジ30 ～ 5000 μmの幅広いラインアップ
導体であれば材質により感度が変わらない
表面粗さの影響を受けない
高い直線性：±0.05％以下
低ノイズ：0.002％ FS（rms）以下

特注プローブ対応例

上記は一例です。用途に応じた特注対応いたします。

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。

PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。

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・正確な測定のために軸振れをチェックしましょう！

仕様

■　アンプ仕様

ワンタッチで出力をゼロにするリセット機能、NEAR/FAR LED表示機、マルチチャンネル動作機能など、これ一台で様々な用途への応用

型式	PS-IA
基本出力電圧範囲	0 ～ 10 V
出力端子	BNCコネクタ
応答周波数特性（≧-3 dB）	DC ～ 1 kHz
使用温度範囲	＋10 ～＋40℃
電源	AC 100 ~ 240 V(±10%)(フリー電源 50/60 Hz) DC 24 V 0.5 A (DC電源は注文時指定)
外形寸法	110W×30H×162D mm
重量	360 g（本体のみ）

■　標準プローブ仕様

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができる
真空対応など、特注対応も可能

型式	外径(mm)	オフセット(μm)	レンジ(μm)	分解能(nmrms)	直線性(%)	プローブ長(mm)	ケーブル長(m)
△X□□-30	4	10	30	0.6	±0.05	5(受注生産品) 10 30	2 (標準)
△X□□-50		10	50	1
△X□□-100		10	100	2
△Y□□-50	6	10	50	1
△Y□□-100		10	100	2
△Y□□-250		25	250	5
△Y□□-500		50	500	10	±0.1
△Z□□-500	12	50	500	10	±0.05	10 30
△Z□□-1000	12	100	1000	20	±0.1	10 30
△T□□-3000	30	300	3000	60	±0.05	15 30
△T□□-5000	30	500	5000	100	±0.2	15 30

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長（mm）

LED、蛍光表示管、液晶ディスプレイなどの表示機器は、製造の工程やロットによって微妙な色調のバラツキが生じる恐れがあります。予めご了承をお願いいたします。

ダウンロード

製品カタログ（PDF）		PS-IA/PS-IA-HS カタログ(1 MB)	日
取扱説明書（PDF）		PS-IA/PS-IA-HSマニュアル(2 MB)	日
外観図	DXF （ZIP）
外観図	PDF
サポートツール
ソフトウェア

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PS-IA