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製品概要

高応答・高安定・高分解能・静電容量方式非接触変位計
PS-IA-HSは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高応答・高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。
多くの導入実績があり、高い評価を得ているPS-IAの応答速度を5 kHzに高めました。従来、測定が難しかった高速な変位現象の測定を可能にします。
5 kHzの高速応答

PS-IAの使いやすさはそのままに、応答速度が5倍になりました。
従来、測定が難しかった高速な変位現象の測定を可能にします。
回転物体のブレ測定やピエゾステージのクローズループ制御に最適です。

■主な用途

  • 回転物体のブレ測定（高速スピンドル、主軸、ハードディスクなど…）
  • 加締め、圧入時の変位・振動解析
  • ピエゾステージのクローズループ制御
  • 高速・精密ステージの精密位置決めに！
  • 透明電極の表面検出に！

特長

DC 24 VまたはAC 100 Vで動作し、出力ゼロリセット機能、NEAR/FAR LED表示器、BNCアナログ出力のついたシングルチャンネルのアンプです。コンパクトでありながら多機能なシステムであり、研究開発用途から各種装置への組み込みなど、様々な用途に御使用いただけます。

  • 測定対象物ごとのキャリブレーションは不要！（測定対象物が導体であれば、感度は変りません）
  • 表面粗さの影響は受けません。高速に動く物体の変位も高精度に測定
  • 測定対象物が薄くても、導電体であれば測定可能
  • 測定領域はプローブの直径以下ですので位置分解能の高い測定が可能
  • 磁気や電磁誘導の影響は受けません
  • 標準測定レンジ30 ～ 10000 μmの幅広いラインアップ
  • 高い直線性：±0.05％ 以下
特注プローブ対応例


上記は一例です。用途に応じた特注対応いたします。

測定原理

PSセンサは、下図のように平行平板コンデンサの原理に基づいています。中心電極とターゲット間の静電容量をC、プローブとターゲット間の誘導率をε、距離をg、中心電極面積をAとするとその関係は

の計算式で表すことができます。これを下図のような交流定電流源駆動を行うことにより、出力電圧は

となり、出力は測定ギャップに比例します。

PSセンサでは、ガード電極を中心電極と同電位となるようにドライブすることにより、中心電極部分で平行電場を作り、高い直線性を得ています。

PS-IA-HSを特集した過去のメールマガジンはこちら


仕様

｜標準円筒型プローブ仕様｜標準角フランジ型プローブ仕様｜アンプ仕様｜

標準円筒型プローブ仕様

プローブ内部には電子回路を含まないため、コンパクトなプローブにすることができる
真空対応など、特注対応も可能

 

 
型式 △X□□-30 △X□□-50 △X□□-100
外径 4 mm
ターゲット
最小直径		 4 mm
オフセット 10 μm
測定レンジ 30 μm 50 μm 100 μm
分解能
(PS-IA-HS)		 3 nm rms 4 nm rms 8 nm rms
直線性 ±0.05%
プローブ長 5 mm(受注生産品), 10 mm, 30 mm
ケーブル長 標準2 m
 
型式 △Y□□-50 △Y□□-100 △Y□□-250 △Y□□-500
外径 6 mm
ターゲット
最小直径		 6 mm
オフセット 10 μm 25 μm 50 μm
測定レンジ 50 μm 100 μm 250 μm 500 μm
分解能
(PS-IA-HS)		 4 nm rms 8 nm rms 20 nm rms 60 nm rms
仕様変更しました
直線性 ±0.05% ±0.1%
プローブ長 5 mm(受注生産品), 10 mm, 30 mm
ケーブル長 標準2 m
 
型式 △Z□□-500 △Z□□-1000 △T□□-3000 △T□□-5000
外径 12 mm 30 mm
ターゲット
最小直径		 11 mm 28 mm
オフセット 50 μm 100 μm 300 μm 500 μm
測定レンジ 500 μm 1000 μm 3000 μm 5000 μm
分解能
(PS-IA-HS)		 40 nm rms 80 nm rms 240 nm rms
仕様変更しました		 480 nm rms
仕様変更しました
直線性 ±0.0% ±0.1% ±0.1%
仕様変更しました		 ±0.3%
仕様変更しました
プローブ長 10 mm, 30 mm 15 mm, 30 mm
ケーブル長 標準2 m

表中の△はケーブル出しのタイプ、□□はプローブ長（mm）

標準角フランジ型プローブ仕様
型式 FK4006-500 FK4006-1000 FN4006-1000 FN4006-2000
測定部径 15 mm 19 mm
ターゲット
最小直径		 15 mm 18 mm
オフセット 50 μm 100 μm 100 μm 200 μm
測定レンジ 500 μm 1000 μm 1000 μm 2000 μm
分解能
(PS-IA-HS)		 40 nm rms 80 nm rms 80 nm rms 160 nm rms
直線性 ±0.05%
ケーブル長 標準2 m
 
型式 FT4006-3000 FT4006-5000 FU5006-5000 FU5006
-10000
測定部径 29 mm 39 mm
ターゲット
最小直径		 28 mm 38 mm
オフセット 300 μm 500 μm 500 μm 1000 μm
測定レンジ 3000 μm 5000 μm 5000 μm 10000 μm
分解能
(PS-IA-HS)		 240 nm rms 480 nm rms 400 nm rms 1200 nm rms
直線性 ±0.1% ±0.3% ±0.1% ±1.0%
ケーブル長 標準2 m
 

■　アンプ仕様

ワンタッチで出力を0 Vにシフトさせる出力オフセット機能
NEAR/FAR LED表示など、一台で様々な用途への応用が可能

型式 PS-IA-HS PS-IA-HS（B）（オプション）
基本出力電圧範囲 0 ～ 10 V −5 ～ +5 V
出力端子 BNCコネクタ
応答周波数特性
（≧-3 dB）		 DC ～ 5 kHz
使用温度範囲 ＋10 ～ ＋40℃
電源 AC 100 ~ 240 V(±10%)(フリー電源 50/60 Hz)
DC 24 V 0.5 A (DC電源は注文時指定)
外形寸法 110W×30H×162D mm
重量 360 g（本体のみ）

LED、蛍光表示管、液晶ディスプレイなどの表示機器は、製造の工程やロットによって微妙な色調のばらつきが生じる恐れがあります。予めご了承ください。

ダウンロード

製品カタログ（PDF）
 PS-IAシリーズ カタログ(819 KB) 日
取扱説明書（PDF）
 PS-IA/PS-IA-HSマニュアル(2 MB) 日
外観図
DXF
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