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產品概要

採用靜電容方式技術測量,實現非接觸精密變位測量。
可應用變位、振動、形狀、位置檢出等廣泛領域測量。本產品追求精度和成本效果開發,是泛用性變位計。
還有,考慮地球環境的影響,所有產品均採用無鉛·RoHS2指令。
PS-Ⅲ系列,是在1台主機殼內擁有多通道,在AC 100 V下工作,備有各種功能的PS感測器系列的綜合版。不僅僅應用研發目標等單品使用,還可用設備內置使用。
本產品由於輸出貿易管理規定有可能不能銷售,請事先諒解。
測量原理

如下圖所示,PS感測器,利用平板電容器的原理。

表示。C為極板之間的電容、ε為探針與對電極之間的誘導率、g為距離、A為中心電極板的面積。這些關係可表達如下計算式。C = εA/g
如下圖所示,通過交流恒流源驅動時,輸出電壓為:V = I/ωC = (I/ωεA)g

輸出和測定空隙有比例關係。

PS感測器,在防護電極與中心電極具有相同電位下進行驅動時,通過中心電極部分建立並行電場,獲得高的直線性。

應用案例