指令パルスの最大出力周波数は?(PFA)

最大500kpulse/secです。スライダの最高速度から1パルスあたりの変位の分解能をどこまで上げられるか計算する必要があります。
例えばスライダの最高速度が100mm/secの場合は1パルスあたりの変位量は0.2μmとなり、最大分解能は0.05μmとなります。(モータもしくは変位計の分解能がそれ以上ある前提です。)