位置制御が目標値よりも前で止まってしまう。(PFA)

インポジションレンジの値が影響しております。インポジションレンジは「設定」→「シーケンス」内に下記の設定項目があります。正確には「Position Inposition Range」です。
インポジションレンジは位置制御がその範囲内に入ったら制御が終わったと認識する範囲です。
デフォルト値は5pulse(4逓倍)になっておりますが、例えば1パルス(4逓倍)で1μm進むように設定されていた場合は、インポジションレンジの値がデフォルト値のままであれば位置制御は5μm前で止まってしまいます。インポジションレンジの最小値は1ですが、位置精度を更に上げたい場合は1パルスで進む距離を更に小さな値になるようにサーボアンプの設定を変更してください。